潔凈車間對(duì)于電子芯片的的生產(chǎn)過(guò)程是不可替代的存在,國(guó)內(nèi)電子芯片潔凈車間行業(yè)目前主要需注重這幾個(gè)問(wèn)題:
一:高技術(shù)適應(yīng)性與靈活性
在2000年-2010年間,國(guó)內(nèi)電子芯片技術(shù)由5英寸 (0.5um) 6英寸(0.5um) 提升到了8英0.18um-0.25um),而目前,一些名廠家的產(chǎn)品更是達(dá)到了12英寸(110nm-90nm-65nm),可以說(shuō)電子芯片行業(yè)已經(jīng)進(jìn)入了“納米時(shí)代”
國(guó)內(nèi)電子芯片技術(shù)的高速發(fā)展與相關(guān)潔凈車間有著密切關(guān)聯(lián),這類車間必須適應(yīng)電子芯片技術(shù)的發(fā)展速度,以便滿足工藝不斷發(fā)展進(jìn)步的要求。由于電子芯片潔凈車間的建造成本高,使用時(shí)間長(zhǎng),因此在設(shè)計(jì)與建造時(shí)要做好周全準(zhǔn)備,使其具備高技術(shù)適應(yīng)性與靈活性。
二:復(fù)雜工藝與高技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)
對(duì)于電子芯片潔凈車間而言,復(fù)雜工藝與高技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)是并存的。在產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中,如果塵埃顆??刂撇划?dāng),會(huì)對(duì)成品率造成不良影響,甚至還會(huì)造成整批產(chǎn)品的報(bào)廢
除此之外,在電子芯片潔凈車間的氣流組織中和芯片生產(chǎn)過(guò)程中,如果車間內(nèi)塵埃顆粒及靜電控制不當(dāng),會(huì)對(duì)產(chǎn)品合格率造成很壞的影有時(shí)候甚至?xí)斐烧a(chǎn)品的報(bào)廢。輕則影響成品率,重則造成整個(gè)潔凈車間的報(bào)廢,其損失是難以估量的。響,
三:復(fù)雜設(shè)計(jì)施工與高建造費(fèi)用
電子芯片潔凈車間有著嚴(yán)格的潔凈度要求,可想而知,其設(shè)計(jì)施工也是相當(dāng)復(fù)雜的。此外,潔凈度越高,建造費(fèi)用也越高。例如100級(jí)(FS 209)單向流潔凈室,僅室內(nèi)裝修與空調(diào)潔凈系統(tǒng)的建造費(fèi)用為10000元/1。再加上消防、三廢、供配電和自控系統(tǒng),建造費(fèi)用更是高達(dá)25000元-30000元/m。(僅供參考)
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